電子特氣的種類及特氣工藝系統(tǒng)
2022-09-21 11:42:00
電子特氣在其生產過程中涉及合成、純化、混合氣配制、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項工藝技術，下游客戶對產品質量要求較高。尤其是極大規(guī)模集成電路、新型顯示面板等精密化程度非常高的應用領域，對特種氣體的純化、雜質檢測、儲運技術都有著嚴格的要求。
高純氣體純度：特種氣體要求超純、超凈。純度每提升一個N以及粒子、金屬雜質含量濃度每降低一個數(shù)量級都將帶來工藝復雜度和難度的顯著提升。
電子混合氣配比的精度：隨著混合氣中產品組分的增加、配制精度的上升，常要求氣體供應商能夠對多種ppm(10-6)乃至ppb(10-9)級濃度的氣體組分進行精細操作，其配制過程的難度與復雜程度也顯著增大。
氣體儲運：保證氣體在存儲、運輸、使用過程中不會被二次污染，對氣瓶內部、內壁表面的處理涉及多項工藝，均依賴于長期的行業(yè)探索和研發(fā);此外，對于某些具有高毒性或危險性的氣體，需要使用負壓氣瓶儲運，以減少危險氣體泄露風險。
氣體分析檢測：由于需要檢測的雜質含量低至ppb級別，需要使用特殊的氣相色譜、ICP-AES、ICP-MS等非常規(guī)分析方法。
電子特氣工藝系統(tǒng)：
特氣系統(tǒng)是指特種氣體的儲存、輸送與分配過程的設備、管道和部件的總稱。特氣系統(tǒng)工程是用于實現(xiàn)特氣系統(tǒng)安全使用的工程。
特氣系統(tǒng)組成
特氣系統(tǒng)由儲存、輸送、分配、控制四類設備組成。其中“存儲”指氣源部分(特氣柜GC)，“輸送”指配管部分(一般用雙套管)，“分配”指二次配部分(氣體分配柜VMB)，“控制”指監(jiān)督控制部分(氣體管理系統(tǒng)GMS)。
特氣系統(tǒng)特點
特氣系統(tǒng)中的每臺設備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作，帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監(jiān)控報警，并可擴展地震監(jiān)控報警;單臺設備可以獨成系統(tǒng)獨立運轉，也可多臺設備用PLC或TGO連起來組成大系統(tǒng)，在監(jiān)控中心統(tǒng)一監(jiān)控管理，其報警系統(tǒng)還可以與安監(jiān)系統(tǒng)、消防系統(tǒng)對接。
應用行業(yè)及設備
芯片半導體、微電子企業(yè)、光伏太陽能、生物制藥、新材料等行業(yè)，常配套用于濺射真空鍍、沉積刻蝕、鈍化清洗等設備。